Desde que desarrolló el primer circuito integrado en 1959, los fabricantes de dispositivos electrónicos semiconductores se han enfrentado al reto de aumentar la escala de integración de los transistores que forman parte de los circuitos, es decir, disminuir el tamaño de los transistores y poder integrar, por tanto, más dispositivos en el mismo sustrato. De hecho, las mejoras en los procesos de fabricación abrieron la puerta al desarrollo de otros dispositivos, como los MEMS y los NEMS, que aunque no eran circuitos integrados se fabricaban...